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大家都知道，在托里拆利制作的一端封閉充滿水銀的細(xì)長玻璃管就是最初的真空計雛形。根據(jù)測量的真空度范圍和使用環(huán)境，現(xiàn)在最常使用的真空計有電容式隔膜真空計、熱電偶真空計、熱陰極電離真空計和冷陰極電離真空計。這幾種真空計利用了不同的物理現(xiàn)象，其中電容式隔膜真空計利用的是力，熱電偶真空計利用的是熱傳導(dǎo)，電離真空計利用的是真空放電。它比真空表更加的精準(zhǔn)。選用真空計時應(yīng)該注意以下事項：
1.真空計是否會對被測的真空環(huán)境造成影響。
2.被測氣體是何種介質(zhì)，是否會對真空計造成損傷。
3.在設(shè)備要求的壓力范圍內(nèi)，真空計是否有足夠的測量精度，例如有的真空計測算極限只在某一個范圍內(nèi)，超過了就測試不出來。
4.真空計能否實現(xiàn)連續(xù)測量，數(shù)值指示及反應(yīng)時間是否夠快。
5.真空計所測壓力是全壓還是分壓，是否已校準(zhǔn)，是否與氣體種類有關(guān)。
6.真空計的穩(wěn)定性、可靠性及使用壽命等。 |
